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產品資料

晶圓腐蝕爐

  • 如果您對該產品感興趣的話，可以
  • 產品名稱：晶圓腐蝕爐
  • 產品型號：YY-碳化硅腐蝕爐
  • 產品展商：燕園科技
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹

用于硅片邊緣LTO的腐蝕去除，以便外延片的生長。
產品描述

產品規格：

1、適用范圍：8寸/12寸硅片
2、產能：批次腐蝕，每批次25片，產能依據腐蝕厚度
3、搬運方式：PFA cassette/手動

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